前面几章已经介绍了太阳电池生产线上的清洗制绒、扩散和刻蚀等设备结构及性能参数。本章将着重阐述镀膜设备———等离子体增强化学气相沉积(PlasmaEnhancedChemicalVaporDeposition，简称PECVD)。PECVD作为太阳电池生产线上的关键设备之一，其市场需求相当大，所以PECVD技术在70年代以来已成为研究的热点，并将不断成长为一项成熟的技术。PECVD与一般的CVD方法相比既有相同之处，又有它独特的优势。以下将详细的介绍PECVD装置的原理、特点、结构参数、性能指标、操作规范和保养维修等。
目前太阳能光伏市场上用的PECVD设备，国外的主要有德国centrotherm和日本岛津的镀膜设备;国内的主要有生产型管式PECVD，接下来就该管式PECVD的工作原理、结构性能参数、操作调试过程和维护保养工作做一个详尽的介绍。图6.1为PECVD的结构示意图。化学气相沉积(CVD)是反应气体在一定条件下分解并发生化学反应，最终生成固态物质沉积在基体表面继而形成薄膜的一种技术。在工艺上与其他薄膜沉积技术相比，具有沉积速度快、膜层质量好等优点，且已大范围的应用于电子、光电子、表面改性等领域。该技术的缺点是沉积工艺温度过高，一般在(900℃～1200℃)之间，被处理的基体在高温下易变形、基体晶粒长大、致使基材性能发生改变，甚至某些相对低熔点的合金基材：如(Al合金)无法涂覆，而PECVD在很大程度上改进了CVD的这些缺点。PECVD技术原理是利用低温等离子体作能量源，样品置于低气压下辉光放电的阴极上，利用辉光放电(或另加发热体)使样品升温到预定的温度，然后通入适量的反应气体，气体经一系列化学反应和等离子体反应，在样品表明产生固态薄膜。PECVD方法区别于其他CVD方法的特点在于等离子体中含有大量高能量的电子，它们能提供化学气相沉积过程所需的激活能。电子与气相分子的碰撞能够在一定程度上促进气体分子的分解、化合、激发和电离过程，生成活性很高的各种化学基团，因而明显降低CVD薄膜沉积的温度范围，使得原来需要在高温下才能进行的CVD过程得以在低温下实现。其化学反应方程式为
利用高频电源辉光放电产生等离子体对化学气相沉积过程施加影响的技术被称为等离子体增强CVD。电子和离子的密度达109～1012个/cm3，平均电子能量可达1～10eV。成膜过程在线Pa范围内。由于等离子体存在，促进气体分子的分解、化合、激发和电离，促进反应活性基团的生成，以此来降低沉积温度。PECVD在200℃～500℃范围内成膜，远小于其他CVD在700℃～950℃范围内成膜。PECVD成膜均匀，尤其适合大面积沉积。由于在氨气压条件下，提高了活性基团的扩散能力，来提升薄膜的生长速度一般可达30～300nm/min以上。
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SolarWorld边反倾销边找低价代工 被中国光伏企业绑上“十字架”
募资10亿元！金辰股份加码高效组件、电池自动化生产线日，金辰股份发布了重要的公告称，公司非公开发行A股股票募集资金金额不超过100,000万元（含100,000万元），将大多数都用在“金辰人机一体化智能系统华东基地项目”及“高效电池片PVD设备产业化项目”，募集资金投资项目主要围绕公司主要营业业务展开。（一）金辰人机一体化智能系统华东基地项目公司拟在江苏省苏州市太湖国家旅游度假
11月29日，金辰股份发布关于部分募集资金投资项目增加实施主体、实施地点及延期的公告。（一）年产40台（套）隧穿氧化硅钝化接触高效太阳电池用平板式PECVD设备项目增加实施主体、实施地点及延期的情况及原因公司拟增加募投项目“年产40台（套）隧穿氧化硅钝化接触高效太阳电池用平板式PECVD设备项目”
光伏新时代论坛金石能源深度报告大腔室PECVD对异质结（HJT）产业化的重要意义
9月23日、24日，2022年光伏新时代论坛暨第十一届“北极星杯”2022年度光伏影响力品牌评选颁奖典礼在南京举行，光伏产业链企业、行业机构、发电集团、资深专家等一百多家企业和机构代表参加了论坛活动。福建金石能源有限公司战略副总裁金屹应邀出席，产线项目部总经理庄辉虎受邀作《大腔室PECVD对异质结
2022年，由于光伏技术的逐渐成熟，产品加速从P型向N型的过渡。从光伏技术发展角度来看，TOPCON和异质结是目前热点。业界通常认为：TOPCON是面向过去的技术，表现为和传统电池PERC兼容性较好，兼容PERC设备，设备投资所需成本也低；异质结面是向未来新技术，效率更加高，发电能力更强，未来还可以发展钙钛矿/
从金辰股份官微获悉，近日，金辰股份首台套微晶HJTPECVD量产设备成功交付发货。HJT异质结是下一代高效光伏电池技术，PECVD设备又是异质结技术路线年，金辰股份组建团队开始研发HJTPECVD设备；2021年6月，金辰股份自主研发的首台HJTPECVD设备进驻晋能科技并成功通过设备工艺验证；
TOPCon是一种基于选择性载流子原理的隧穿氧化层钝化接触太阳能电池技术，2013年由德国Fraunhofer太阳能研究院首次提出。TOPCon电池结构为N型硅衬底电池，在电池背面制备一层超薄氧化硅，然后再沉积一层掺杂硅薄层，二者共同形成了钝化接触结构，大大降低表面复合和金属接触复合。计算表明，TOPCon电池
北极星太阳能光伏网获悉，12月29日，中微半导体设备（上海）股份有限公司（简称“中微公司”）发布了重要的公告称，公司拟以上海理想万里晖薄膜设备有限公司(“理想万里晖”)投前估值36亿元为交易价格，以公司自有资金现金方式向理想万里晖投资1亿块钱，交易价格在评估结果32.99亿元的基础上溢价9.12%，认购理想万里晖新增注册资本424.0028万元人民币，公司持股票比例由3.6929%增加至4.7735%。
日前，安徽华晟新能源宣布与薄膜设备制造商上海理想万里晖达成了一项全新的战略合作，双方致力于开发大产能异质结专用PECVD设备。据介绍，双方团队计划在10层CVD设备上采用新技术进行量产及工艺可行性方面做研究，开发更低成本、更大产能的CVD设备。目前，华晟正在做前期厂务动力设施的施工准备工作，设备计划于今年11月份搬入现场。
金辰股份：拟定增募资不超3.8亿元 用于异质结电池片PECVD设备项目
4月6日，金辰股份发布了重要的公告称，中国证监会发行审核委员会当日对公司非公开发行股票申请进行了审核。根据审核结果，公司本次非公开发行股票申请获得通过。据悉，金辰股份此次拟非公开发行不超过3173.38万股股票，募集资金不超过3.8亿元，用于光伏异质结（HJT）高效电池片用PECVD设备项目及补充流动资金。
近期，中国科学院合肥物质科学研究院固体物理研究所能源材料与器件制造研究部研究员潘旭团队、中国科学技术大学教授肖正国课题组合作，在钙钛矿太阳能电池研究中取得进展，制备出理想带隙为1.33eV的铅锡混合钙钛矿作为太阳能电池吸收层，通过定向锚定策略（STA）对钙钛矿空位缺陷进行精确钝化处理，获
4月29日，长征五号B运载火箭在海南文昌航天发射场发射成功，成功将我国空间站工程首个航天器--天和核心舱送入预定轨道，发射任务取得圆满成功。据空间站副总指挥甘克力介绍，在核心舱的研制任务中，中国航天科技集团有限公司第八研究院承担了电源分系统、对接与转位机构分系统、测控通信产品、资源舱结构与总装及电缆网研制任务。其中电源分系统作为整个核心舱任务的四大关键技术之一，充当着未来空间站“太空电站”的作用。
目前，钝化发射极和背面电池(PassivatedEmitterandRearCell，PERC)技术已成为光伏行业中提升晶硅太阳电池转换效率的主流高效技术。PERC技术是通过在硅片的背面增加一层钝化层(氧化铝或氧化硅)，对硅片起到钝化的作用，可有效提升少子寿命。为避免钝化层被破坏，影响钝化效果，还会在钝化层外面再镀一
2020年9月21日，中国可再次生产的能源学会光伏专业委员会（CPVS）在昆明举行的2020中国可再生能源学术大会暨第二届云南绿色能源国际论坛上发布了2020年太阳电池中国最高效率（CPVSBestResearch-CellEfficiencies）。（来源：微信公众号“中国光伏专委会”）2020太阳电池中国最高效率表*(t),totalarea;(da),de
6月23日，我国成功发射北斗系统第55颗导航卫星，这也是北斗三号系统最后一颗全球组网卫星。自此，北斗三号全球卫星导航系统星座部署完成，历时20多年的北斗导航系统建设完美收官。据了解，其中太阳电池阵是卫星的唯一供电能源，蓄电池组是卫星储能装置。（来源：微信公众号“元一能源”）上午9点43分，
黑硅PERC多晶太阳电池采用背抛光工艺，其背面刻蚀深度在4.0±0.2μm，在800～1050nm的光学波长范围内，其反射率较常规刻蚀制备的黑硅多晶太阳电池提升了10%左右；采用氧化铝及氮化硅钝化制备的黑硅PERC多晶太阳电池，WT-2000测得其少子寿命达到33μs；开路电压提升了15.2mV，短路电流提高了0.372A，效
基于目前主流的常规多晶硅太阳电池生产的基本工艺，对太阳电池在反向偏压下发出可见光的形成原因和发光机理进行了分析验证，根据结果得出，只有在“扩散”环节前引入金属污染才会导致该类异常电池产生，可见光的发射与局部预击穿及温度的升高有关。（来源：微信公众号“太阳能杂志”ID：tynzz1980）01实验1.1实验
南通苏民新能源科技有限公司(NantongSuminRenewableEnergyTechnologyCo.,Ltd.以下简称“苏民新能源”)2019年12月18日发布新闻宣布，公司研发的大面积高效P型多晶PERC太阳电池转换效率达到22.88%，创造了P型多晶PERC电池的世界新纪录。该结果于2019年12月获得中国光伏权威检验测试机构——国家太阳能光伏产
2019年11月5日，中国可再次生产的能源学会光伏专业委员会（CPVS）在西安第29届国际光伏科学与工程大会（PVSEC-29）暨18届中国光伏学术大会（CPVS-18）上发布了2019年太阳电池中国最高转换效率（CPVSBestResearch-CellEfficiencies）。2019年太阳电池中国最高效率表*红色字体的效率纪录也创造了该类电池的世界
近日，加纳政府可再生能源开发商BPA与国家电站承包商FSG的相关领导莅临安泰新能源参观拜访，安泰新能源CEO黄丽琴女士、商务开发经理洪红梅女士等进行了热情接待。同时，三方达成友好合作，签订50MW地面光伏电站项目支架供货协议，该项目位于加纳延迪，预计建成后，每年可为加纳输送9千万度的清洁电力，
北极星太阳能光伏网发布一周要闻回顾（2023年11月27日-12月1日）
12月1日，北极星太阳能光伏网发布一周要闻回顾（2023年11月27日-12月1日）。政策篇分布式光伏就近消纳就地平衡辽宁发改委下发规范发展分布式光伏征求意见稿2023年11月28日，辽宁省发展改革委对《关于规范发展分布式光伏的通知（征求意见稿）》公开征求意见的公告。公告指出，为确保我省分布式光伏科学
今年以来，湖南光伏发电建设明显提速。2023年1-10月，湖南新增光伏装机392万千瓦，总装机容量达1028万千瓦，较2022年底增长62%；全省光伏发电量超过70亿千瓦时，同比增长60%。从今年8月起，湖南全省光伏装机首次超过风电，且差距还在进一步拉大。其中，分布式光伏发电装机为653万千瓦，占光伏发电总装
西藏：支持在青藏高原因地制宜建设以风电、光伏等清洁能源为主体的能源体系
日前，西藏自治区发改委政策法规处印发《中华人民共和国青藏高原生态保护法》，其中第四十五条提出，国家支持在青藏高原因地制宜建设以风电、光伏发电、水电、水风光互补发电、光热、地热等清洁能源为主体的能源体系，加强清洁能源输送通道建设，推进能源绿色低碳转型。原文如下：中华人民共和国青藏高
11月30日，《联合国气候平均状态随时间的变化框架公约》第二十八次缔约方大会（COP28）在阿联酋迪拜正式开幕。本次大会将持续至12月12日，将是有史以来顶级规模的一届联合国气候变化大会，预计有超过7万人参与。COP28Solar+Pavilion开幕式现场，中华环保联合会副主席兼秘书长谢玉红致辞。COP28将对《巴黎协定》实施情况
国家能源局锚定碳达峰碳中和目标，多措并举推动可再次生产的能源高质量跃升发展。继今年6月突破13亿千瓦后，全国可再次生产的能源发电装机规模再创新高，截至10月底突破14亿千瓦，达到14.04亿千瓦，同比增长20.8%，约占全国发电总装机的49.9%，其中水电4.2亿千瓦（常规水电3.7亿千瓦、抽水蓄能5004万千瓦）、风电4.
从呼图壁零距离官微获悉，11月28日，昌吉州国投、华东院呼图壁县10万千瓦光伏项目开工。据悉，此次开工建设的州国投、华东院呼图壁县10万千瓦新能源项目，总投资4.84亿元，占地4800亩，建设规模10万千瓦，储能时长2小时，年均发电约1.7亿度，电力接入呼图壁工业园220kV变电站，具有非常明显的经济效益、生
11月29日，中国国际供应链促进博览会正于北京中国国际展览中心（顺义馆）火热进行中。晶澳科技作为全球新能源发电解决方案平台企业，在W2-E03展位展出了包括旗舰新品DeepBlue4.0Pro在内的多款高效产品及储能产品，受到媒体和现场参展观众的关注。前沿产品，赋能未来本次展会，晶澳科技展出6块高效光伏
11月30日，全国新能源消纳监测预警中心发布2023年10月全国新能源并网消纳情况，10月光伏发电利用率97.5%，1-10月达到98.2%。原文如下：根据《国家能源局关于2021年风电、光伏发电开发建设有关事项的通知》（国能发新能〔2021〕25号），为引导新能源理性投资、有序建设，现将2023年10月各省级区域新能源